B11 · سیمی کنڈکٹر اور الیکٹرانک گیس
سیمی کنڈکٹر اور الیکٹرانک اسپیشلٹی گیسیوں کے لیے سٹینلیس سٹیل پلیٹیں: انتخاب گائیڈ اور 6 حصوں کی فہرستیں
ہماری سیمی کنڈکٹر اور الیکٹرانک اسپیشلٹی گیسیوں میں، ہم نے سٹینلیس سٹیل استعمال کرتے ہوئے 6 حصے ترتیب دیے ہیں: عام طور پر استعمال ہونے والا 316L / 304L جس کی موٹائی 0.05–30 mm تک ہے۔
چھ مقامات اور مواد کی فہرستیں
| مقام / پرزہ | تجویز کردہ گریڈ | وضاحتیں / موٹائی | سطح | بنیادی ناکامی کے طریقے | حوالہ جاتی معیارات |
|---|---|---|---|---|---|
| UHP گیس ٹرانسفر پائپ لائنز | 316L VIM-VAR | 1/8″–2″ | Ra≤0.4μm الیکٹروپالشنگ؛ انٹرگرینولر کوروزن ٹیسٹنگ | ذرات کی برقراری → ویفر آلودگی؛ Cl⁻/F⁻ ایچنگ؛ ویلڈ ہیٹ افیکٹڈ زون (HAZ) کوروزن | SEMI F20 گریڈ 5؛ ASTM A269/A632؛ SEMI F19 |
| والو باڈی/گیجز/ڈایافرام والوز برائے اسپیشل گیسیز کیبنٹ | 316L VIM-VAR فورجنگز | DN1/4″–1″؛ Cv 0.05–1.30 | Ra≤0.4μm الیکٹروپالشنگ | سیٹ سے پائپ دیوار کا فاصلہ > 1D برقراری ڈیڈ زونز بناتا ہے؛ سنکنرن اسپیشل گیس ایچنگ | SEMI F20 4.6.2؛ ASTM A182 |
| گیس فلٹرز/کنکشنز/باسز | 316L VIM-VAR | انٹرفیس کے ذریعے | Ra≤0.4μm الیکٹروپالشنگ | ذرات اور سنکنرن مصنوعات کی رکاوٹ؛ کنکشن کا رساؤ | SEMI F20؛ ASTM A269 |
| CMP سلری/گیلے کیمیکلز کی منتقلی کی پائپ لائنیں | 316L EP/PFA/PTFE استر | 1/4″–2″ | Ra≤0.4μm الیکٹروپالشنگ | رگڑ پیسائی + تیزابی/آکسیڈنٹ + ذرات کی برقراری | SEMI F20؛ SEMI F57؛ ASTM A269 |
| ویفر واشر/کلیمپ/اسپرےرز | 316L/PFA/سلیکون/کیوبک سلکان کاربائیڈ | 3-10mm برتن | پالشنگ/ڈفیوژن | شدید سنکنرن + ذرات کی آلودگی | SEMI F20؛ ASTM A240 |
| ویکیوم چیمبر/فیس پلیٹ/آبزرویشن ونڈو نیک | 304L/316Lویکیوم گریڈ | جہاز | 2B/ایبراسیو پالشنگ/ایسڈ واشنگ | کم ویکیوم ڈیگریڈیشن، ویلڈنگ لیک | ASTM A240؛ SEMI F20؛ ISO 3669 |
شرح ضروریات کو پورا نہیں کرتیمعیاری ترتیب۔ایک ہی حصہ استعمال کی شرائط کی بنیاد پر 316L سے 304L یا 2205 میں تبدیل ہو سکتا ہے، صرف مواد کی بجائے شرائط بتا کر وقت بچایا جا سکتا ہے۔
مواد کے انتخاب میں اہم نکات
- سب سے عام استعمال ہونے والے گریڈز 316L (6) اور 304L (1) ہیں۔
- تیزاب مزاحم 316L سے شروع کریں، 904L / یا ڈوپلیکس (2/6 ہٹس) کے ساتھ آگے بڑھیں۔
- موٹائی کی حد: 0.05–30 mm: پتلی پلیٹیں فارمنگ پرزوں کے لیے ہیں (بینڈنگ ریباؤنڈ اور ڈیپ ڈرائنگ کریکنگ پر غور کریں)، موٹی پلیٹیں ویلڈنگ ڈھانچوں کے لیے ہیں (ہیٹ اِن پٹ اور سینسٹائزیشن پر غور کریں)۔
عام مسائل
سیمی کنڈکٹر اور الیکٹرانک اسپیشلٹی گیسوں کے لیے کون سا سٹینلیس سٹیل سب سے زیادہ استعمال ہوتا ہے؟
کل 6 پرزوں میں سے، 316L سب سے زیادہ بار آتا ہے (6 ہٹس) اس کے بعد 304L (1 ہٹ)۔ کسی خاص پرزے کے لیے انحصار اب بھی میڈیم اور درجہ حرارت پر ہے۔ مثال کے طور پر، دونوں سٹینلیس کاؤنٹر ٹاپس کے لیے مختلف گریڈز درکار ہوں گے اگر ایک نمکین پانی کے سامنے ہو۔
کس قسم کے علاقے مسائل کا شکار ہوتے ہیں؟
خرابی کی تفصیلات کی بنیاد پر، عام مثالوں میں "UHP گیس پہنچانے والے پائپ" شامل ہیں: ذرات کا برقرار رہنا → ویفر آلودگی؛ Cl⁻/F⁻ کی خاص قسم کی سنکنرن؛ ویلڈ ہیٹ افیکٹڈ زون (HAZ) کی سنکنرن۔ تجویز کردہ گریڈ 316L VIM-VAR مع خصوصیات 1/8″–2″۔ ان حالات کے لیے، ڈیزائن کے مرحلے میں درمیانی ارتکاز، درجہ حرارت اور صفائی کے طریقے متعین کرنے کی تجویز دی جاتی ہے۔
مجھے کون سی موٹائی منتخب کرنی چاہیے؟
فہرست میں موٹائی کی حد 0.05–30 mm ہے۔ پتلی پلیٹوں کے لیے، موڑنے اور سطح کی تکمیل پر غور کریں؛ موٹی پلیٹوں کے لیے، ویلڈنگ اور ساختی مضبوطی پر۔ ایک ہی مقام کے لیے آلات بنانے والے کی جانب سے اقدار مختلف ہو سکتی ہیں۔ اپنی ڈرائنگ یا آپریٹنگ حالات کے ساتھ دوبارہ جانچ کریں۔
متعلقہ مواد اور ملحقہ صنعتیں
Applications6